|
Vyučující
|
-
Hulicius Eduard, prof. Ing. CSc.
|
|
Obsah předmětu
|
Příprava objemových polovodičových monokrystalů. Vysvětlení základních principů růstových metod. Parametry vlastnosti a důvody omezení krystalografické dokonalosti těchto krystalů. Epitaxní růst vrstev a struktur. Principy, fáze a typy růstu. Druhy epitaxí - epitaxe z pevné, kapalné a plynné fáze, jednotlivé varianty. Epitaxní růst z hlediska materiálového. Epitaxní techniky pro přípravu polovodičových nanostruktur. Základní metody jsou Epiataxe z molekulárních svazků (Molecular Beam Epitaxy - MBE) a Plynná epitaxe z organokovových sloučenin (MetalOrganic Vapour Phase Epitaxy - MOVPE). Podrobný popis obou technik, srovnání, rozdíly, omezení, aplikační oblasti, parametry vybraných struktur. Růst QW, QWr, QD a kaskádových struktur. Stručná historie vývoje obou technologií. Charakterizační "in situ" techniky. Popis metod optických, strukturních, elektronových a ostatních. Uplatnění těchto metod při růstu heterostruktur a nanostruktur. Omezení daná použitím "při růstu". Podpůrné technologické techniky. Litografie, difuse; napařování a slévání kontaktů; dielektrické vrstvy; pájení; pouzdření. Příklady využití nanostruktur a heterostruktur v polovodičových zdrojích záření. Nanostruktury v aktivní oblasti LED, laserů (LD, a SOA, jaké fundamentální změny a zlepšení parametrů mohou přinést.
|
|
Studijní aktivity a metody výuky
|
Monologický výklad (přednáška, prezentace, vysvětlování)
- Účast na výuce
- 28 hodin za semestr
- Příprava na zkoušku
- 80 hodin za semestr
|
|
Výstupy z učení
|
Osvojení základních vědomostí z oblasti přípravy polovodičových nanostruktur
Na základě požadavků zvolit vhodnou metodu pro přípravu polovodičových nanostruktur. Základní poznatky oboru včetně praktických dovedností.
|
|
Předpoklady
|
Znalost středoškolské chemie a fyziky, absolvování některého z předmětů: Kvantová mechanika I; Kvantová fyzika pevných látek; Metamateriály; Fyzika pevných látek; Polovodičové materiály a prvky.
|
|
Hodnoticí metody a kritéria
|
Kombinovaná zkouška
Zpracování a odpřednášení prezentace na některé z témat, vypsaných vyučujícími.
|
|
Doporučená literatura
|
-
Edward L. Wolf. Nanophysics and Nanotechnology. WILEY-VCH Verlag Gmbh, Weinheim, 2004.
-
Guozhong Gao. Nanostructures and Nanomaterials. Imperial College Press, London, 2004.
-
M.A. Herman, W. Richter, H. Sitter. Epitaxy. Springer-Verlag, Berlin Heidelberg New York, 2004.
-
V.A. Schukin, N.N. Ledentsov, D. Bimberg. Epitaxy of Nanostructures. Springer-Verlag, Berlin Heidelberg New York, 2004.
|