Tato diplomová práce se zabývá stanovením prahu poškození pulzním laserem v ns režimu pro antireflexní vrstvy a vztahem mezi depozičními parametry a LIDT. Stručně je popsána teorie tenkých vrstev, depozičních metod tenkých vrstev a antireflexních vrstev. Práce se dále zabývá metodami určení hodnoty LIDT - laserem indukovaný práh poškození a metodami, které se používají při vyhodnocování vzorku. Práce popisuje experimentální pracoviště, kde bylo prováděno testování vzorků a určování jejich LIDT. Dále je uveden popis experimentů a jejich výsledky LIDT pro tenké vrstvy materiálů TiO2, SiO2 a Al2O3 a pro soustavy navržených antireflexních vrstev. V neposlední řadě je zde také popsán program na automatické vyhodnocení poškození z fotografie vzorku.
Anotace v angličtině
The diploma thesis deals with the determination of the pulsed laser damage threshold in ns mode for anti-reflective layers and the relationship between deposition parameters and LIDT. The theory of thin layers, thin layer deposition methods and anti-reflective coatings is briefly described. The work also deals with the methods of determining the value of LIDT - laser-induced damage threshold and the methods used to evaluate the sample. The work describes an experimental workplace where samples were tested and their LIDT was determined. Next follows a description of the experiments and their LIDT results for thin layers of TiO2, SiO2 and Al2O3 materials and for designed anti-reflection coatings. A program for automatic evaluation of damage from a photo of the sample is also described.
Klíčová slova
antireflexní vrstvy, LIDT, poškození laserem, depoziční parametry, programování v jazyce MATLAB
Tato diplomová práce se zabývá stanovením prahu poškození pulzním laserem v ns režimu pro antireflexní vrstvy a vztahem mezi depozičními parametry a LIDT. Stručně je popsána teorie tenkých vrstev, depozičních metod tenkých vrstev a antireflexních vrstev. Práce se dále zabývá metodami určení hodnoty LIDT - laserem indukovaný práh poškození a metodami, které se používají při vyhodnocování vzorku. Práce popisuje experimentální pracoviště, kde bylo prováděno testování vzorků a určování jejich LIDT. Dále je uveden popis experimentů a jejich výsledky LIDT pro tenké vrstvy materiálů TiO2, SiO2 a Al2O3 a pro soustavy navržených antireflexních vrstev. V neposlední řadě je zde také popsán program na automatické vyhodnocení poškození z fotografie vzorku.
Anotace v angličtině
The diploma thesis deals with the determination of the pulsed laser damage threshold in ns mode for anti-reflective layers and the relationship between deposition parameters and LIDT. The theory of thin layers, thin layer deposition methods and anti-reflective coatings is briefly described. The work also deals with the methods of determining the value of LIDT - laser-induced damage threshold and the methods used to evaluate the sample. The work describes an experimental workplace where samples were tested and their LIDT was determined. Next follows a description of the experiments and their LIDT results for thin layers of TiO2, SiO2 and Al2O3 materials and for designed anti-reflection coatings. A program for automatic evaluation of damage from a photo of the sample is also described.
Klíčová slova
antireflexní vrstvy, LIDT, poškození laserem, depoziční parametry, programování v jazyce MATLAB
Prostudujte literaturu týkající se antireflexních vrstev s vysokým prahem poškození pulzním laserem v ns režimu. Zaměřte se na vztah mezi materiály vrstev, způsoby depozice a mechanizmem poškození vrstvy.
Seznamte se s metodou měření LIDT na experimentálním pracovišti. Na známých vzorcích proveďte kalibraci metody.
Navrhněte metodiku měření vzorků vrstev a otestujte ji na vzorcích materiálů typicky deponovaných v laboratoři tenkých vrstev (TiO2, Ta2O5, MgF2, SiO2). Srovnejte výsledky s hodnotami z literatury a zdůvodněte případné rozdíly.
Na základě zvolené metodiky měření vytvořte systematickou sadu experimentů pro analýzu hodnot LIDT v závislosti na depozičních parametrech pro výše zvolené materiály. Proveďte navržené experimenty a stanovte modely závislostí LIDT těchto materiálů.
S použitím literatury a stanovených modelů materiálů navrhněte soustavu vrstev s antireflexním charakterem s co nejlepší kombinací optických parametrů a LIDT. Proveďte depozici navržené soustavy vrstev a stanovte její LIDT.
Zpracujte přehlednou dokumentaci provedené rešerše, analýzy, návrhu a testování tenkých vrstev a jejich soustav.
Zásady pro vypracování
Prostudujte literaturu týkající se antireflexních vrstev s vysokým prahem poškození pulzním laserem v ns režimu. Zaměřte se na vztah mezi materiály vrstev, způsoby depozice a mechanizmem poškození vrstvy.
Seznamte se s metodou měření LIDT na experimentálním pracovišti. Na známých vzorcích proveďte kalibraci metody.
Navrhněte metodiku měření vzorků vrstev a otestujte ji na vzorcích materiálů typicky deponovaných v laboratoři tenkých vrstev (TiO2, Ta2O5, MgF2, SiO2). Srovnejte výsledky s hodnotami z literatury a zdůvodněte případné rozdíly.
Na základě zvolené metodiky měření vytvořte systematickou sadu experimentů pro analýzu hodnot LIDT v závislosti na depozičních parametrech pro výše zvolené materiály. Proveďte navržené experimenty a stanovte modely závislostí LIDT těchto materiálů.
S použitím literatury a stanovených modelů materiálů navrhněte soustavu vrstev s antireflexním charakterem s co nejlepší kombinací optických parametrů a LIDT. Proveďte depozici navržené soustavy vrstev a stanovte její LIDT.
Zpracujte přehlednou dokumentaci provedené rešerše, analýzy, návrhu a testování tenkých vrstev a jejich soustav.